PicoMaster光刻机，可以在高对比度的正胶上加工出小于300纳米分辨率的特征结构。

PicoMaster 系统支持顶侧对准。在Simax特有的轻便型光学模组中集成有520万像素的单色摄像头，测量分辨率100纳米。 最终的对准误差不仅取决于测量分辨率，也取决于对准标记的质量、温度的稳定性，以及系统的校正。