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MicroMaster

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产品简介

MicroMaster 是一款多功能的紫外激光写入器,具有高精度的组件,专为用户在感光层上设计创建最高自由度的微结构。

MicroMaster 是一个完整的操作系统。它拥有405纳米波长光学模块,能够在光阻层中写入最小0.8微米的结构。

这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式,并允许3D光学结构,表面结构以及掩模项目。

激光控制的实时自动对焦和激光强度控制,确保整个曝光过程中的高质量成像。
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系统优点

  • 整个光路被设计在一个小而易于更换的光学模块中,与传统光学装置相比,通过缩短光路,将大大提高光路指向的稳定性;

  • 紧凑的光学模块,具有卓越的稳定性,使用备用模组将大大缩短停机时间;

  • 长寿命的405纳米激光二极管和光束整形元件,保证了最佳光斑形状,再结合高数值孔径物镜,使得系统获得市场上最高分辨率。

应用开发

性能规格

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    +86 21 67693080

  • 邮箱

    sales@simaxat.com

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