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OEM步进/扫描光刻机服务:

  • On site service contract.

  • On call services contract.

  • Service contracts.

  • System audit, / lens qualification.

  • Lithography equipment trouble shooting.

  • System relocation.

  • Parts installation, replacement.

  • System performance improvement projects.

  • Hands on training.

  • 咨询专线

    +86 21 67693080

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