系统支持高达4095级的灰度、纯二进制模式；

系统对准精度最高小于250纳米，线宽均匀性小于50纳米；

系统最大支持9英寸基版，400毫米/秒扫描速度，350x350毫米曝光面积；

系统采取全封闭结构设计，必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内，便于快速安装；

系统连接到空气温度调节器机组开始供应空调空气时，内置堆式过滤器将产生干净的交叉气流；

系统运动平台由机械缓振系统支撑，它将过滤掉绝大多数的噪音振动，以确保工作时的振动最小。